中科大合肥微尺度物质实验室导师介绍:刘颖
姓名: | 刘颖 |
职称: | 副研究员 |
电话: | 0551--3601992-1076 |
传真: | 0551--5141078 |
邮箱: | liuychch@ustc.edu.cn |
网站: |
个人详细信息
1.个人学习、工作及研究经历1990-1994 长春光学精密机械学院 理学学士1994-1996 中科院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室1996-2001 中科院长春光学精密机械研究所 理学博士毕业2001-至今 中国科学技术大学国家同步辐射实验室2009-2010 德国弗雷德里希•席勒 耶拿大学(Friedrich Schiller University Jena)应用物理研究所 中科院公派访问学者 2.主要研究方向软X射线-真空紫外光学 衍射光学 微制作技术 3.代表性科研成果期刊文章(* 通讯作者):
1)Shengnan He,Ying Liu*,Jingtao Zhu,Haochuan Li,Qiushi Huang,Hongjun Zhou,Tonglin Huo,Zhanshan Wang,and Shaojun Fu,"SiC/W/Ir multilayer-coated grating for enhanced efficiency in 50–100 nm wavelength range in Seya–Namioka mount," Opt.Lett.36(2),163-165 (2011).
2)Shengnan He,Ying Liu*,Keqiang Qiu,Hongjun Zhou,Tonglin Huo,and Shaojun Fu,“Efficiency measurement of optical components in 45-110 nm range at beamline U27,HLS,” Chin.Opt.Lett.8(12),1131-1134 (2010).
3)Ying Liu*,Hans-Jörg Fuchs,Zhengkun Liu,Huoyao Chen,Shengnan He,Shaojun Fu,Ernst-Bernhard Kley,and Andreas Tünnermann,“Investigation on the properties of a laminar grating as a soft x-ray beam splitter,” Appl.Opt.49(23),4450-4459 (2010).
4)Ying Liu*,Xin Tan,Zhengkun Liu,Xiangdong Xu,Yilin Hong,and Shaojun Fu*,“Soft X-ray holographic grating beam splitter including a double frequency grating for interferometer pre-alignment,” Opt.Express 16(19),14761-14770 (2008).
5)Xudi Wang*,Ying Liu,Xiangdong Xu,Shaojun Fu*,and Zheng Cui,“Reactive ion beam etching of HfO2 film and removal of sidewall redeposition,” J.Vac.Sci.Technol.A 24(4),1067-1072 (2006).
授权发明专利:
1)X射线全息衍射光栅分束器,授权号 ZL 200810024295.0.
2)光栅离子束刻蚀的光学在线检测装置及检测方法,授权号 ZL 200710020220.0.
3)位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法,发明专利,授权号 ZL 200810021578.x.
4)具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置,授权号 ZL 200810025255.8.
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